X射線衍射（XRD）是一種常用于薄膜測量的無損分析技術。它通過測量X射線在薄膜表面的衍射角度，可以得出薄膜的晶體結構、晶格常數、晶粒尺寸等信息。

薄膜xrd測試標準(部分)

YB/T 5360-2020金屬材料 定量極圖的測定 X射線衍射法

SN/T 3514-2013電工鋼晶粒取向與無取向鑒定方法 X射線衍射測定織構法

ISO 22278-2020精細陶瓷(高級陶瓷，高級工業陶瓷)—使用平行X射線束的XRD方法對單晶薄膜(晶片)的結晶質量的測試方法

GB/T 36655-2018電子封裝用球形二氧化硅微粉中α態晶體二氧化硅含量的測試方法 XRD法

ISO 22278-2020精細陶瓷(高級陶瓷，高級工業陶瓷)—使用平行X射線束的XRD方法對單晶薄膜(晶片)的結晶質量的測試方法

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薄膜xrd測試范圍

超導薄膜、導電薄膜、電阻薄膜、半導體薄膜、介質薄膜、絕緣薄膜、壓電薄膜、鐵電薄膜、光電薄膜、磁電薄膜、磁光薄膜等。

薄膜xrd測試項目

常規掃描、小角掃描、微區掃描、掠入射、高低溫原位、xrd衍射圖譜分析、xrd圖譜特征峰分析、xrd圖譜晶粒尺寸分析等。

薄膜xrd測試流程

溝通需求-寄樣或上門-初檢-報價-簽約-完成實驗

（具體流程依據客戶情況而定）

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檢測報告細節注意點

(1)檢測報告應反映信息的真實一致性

包括委托委托單位或委托人、材料樣品、檢測條件和依據、檢測結果和結論、需要說明的問題、審核與批準、有效性聲明等。

(2)檢測報告基本格式注意點

主要由封面、扉頁、報告主頁、附件組成。各部分一般包括檢測報告名稱、編號、檢測類性、委托項目、檢驗檢測機構名稱、報告發出時間、檢驗檢測機構的地址、聯系方式等。

(3)檢測報告結論注意點

結論應明確是否符合規定要求或是否合格，明確是否符合設計要求、是否合格應由委托單位根據樣品批的總體檢測結果統計分析后自己給出。